真空溅射镀膜电源_相关信息_苏州韦特克斯电子科技有限公司

真空溅射镀膜电源（待修改）

产品简介

本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
有以下特点：1、恒压，恒功率
　　　　　　2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能,?具有的负载匹配能力。
　　　　　　3、工艺重复性好。
　　　　　　4、提高成膜速度，?实现高质量的溅射膜层。
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技术参数

品名	真空镀膜电源
型号	SPWM系列
输入	相数	单相或三相
	电压	220/380V
	频率	50Hz
	输入方式	4线（含地线）
输出	波形	直线
	功率	30KW?/60KW?/100KW（可定制）
	电压	0—1200V（可定制）
	稳定度	≤1%
	电流	0—200A（可定制）
	稳定度	≤1%
	纹波及杂讯	≤5%或≤3%
	效率	≥90%
控制	功率	可选择
	电压	恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
	电流	可选择
保护	具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却	风冷
外型	外壳	?
外型	尺寸(WDH)	482.6mm600mm266.7mm（30KW）???
重量	30KG（30KW）?
备注	?

开关电源特点

??体积小，重量轻，效率高，节能效果显著。功率因子高，对电网污染小。输出纹波小。输出电压，电流独立可调，恒压，恒流自动转换。

真空镀膜应用领域

??真空镀膜行业不同于以往的电镀行业，属于物理方式的表面处理行业。广泛用于各种金属及非金属镀膜装置，涂镀光元件、微电子元件、磁性元件、钟表、种类装饰材料、体育用品、精密工模具、薄膜包装等镀膜制品，以及应用于现代工业、航空航天航海等军事领域的镀耐蚀膜、耐磨损膜、固体润滑膜装置。

? 本公司自主研发生产的真空镀膜电源，成功地运用了优异的脉宽调制技术（PWM），引进三菱、富士等国外的IGBT核心执行元件，大功率机器采用结构均流技术，并配以各种完善的保护功能，使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决，满足低纹波要求，且体积小、重量轻、节能环保，是一种性价比异的直流电源产品，也是可控硅整流电源的替代品。

电源类型	三相桥式整流	六相双反星形整流	高频开关直流电源
体积	一般	较大	较小
功率因数	随导通角变化 0.5-0.9	随导通角变化 0.5-0.9	始终≥0.92
电源效率	0.86左右	0.88左右	≥0.92
谐波含量	较大（导通角小时较大）	一般（导通角小时较大）	较小（功率大小基本不变）
节能效果	无	一般	较好
噪音	一般	较大	无
成本	一般	比较高	比较高

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